光刻机核心部件工件台,只有ASML掌握,清华大学朱煜成功攻克

寰宇手记

光刻机是芯片制造的专用设备,主要的工艺主要取决于“极紫外光源、光学镜头和双工件台”三个方面,另一方面大大小小几十万的配件,几千条的线路,综合了各个国家顶尖的技术的光刻机,可以说迄今找不到一个国家可以独立自主生产制造出来。

我们国家在光刻机最主要的三大工艺上现已取得进步,极紫外光源工艺早就变成了国家高新科技重大专项 ,中科院长春光机所的极紫外光刻机核心技术科研现已经过检收。

光学镜头也现已处于产品研发项目立项中。而作为ASML绝技的双工件台工艺,中国民营企业华卓精科现已攻克纳米的控制,变成全世界第二家具有双工件台知识产权的企业。

在2000年前,光刻机专用设备只有一个产品工件台,晶圆片的对齐与蚀刻工艺过程都会上面实现。

直至2001年,ASML发布了Twinscan双工件台设备,也就是大家说的精确测量台、曝光台,2个工件台独立同分布,一起运转。

一个产品工件台上的晶圆做曝出时,另一个产品工件台对晶圆做精确测量等曝光前的准备工作。

当曝出实现以后,2个产品工件台互换部位和功能,这般周而复始完成光刻机的超高产能。这促使光刻机生产率攻克大概35%,精密度攻克10%之上。

双工作台工艺能够说成ASML的绝技,全世界仅ASML掌控,而中国民营企业却顺利攻克,而且工艺做到了全球优秀水平,这个公司便是华卓精科。

企业创办人朱煜是华大学机械工程系长聘专家教授、博导,具有国家专利发明160多项,授权90多项,在其中美国知识产权9项。

在ASML发布了Twinscan双产品工件台设备这一年,朱煜参加“十五”“863”IC武器装备重特大 的整体规划工作。

也就是这一年,光刻机行业龙头阿斯麦(下称ASML)发布了第一台双产品工件台光刻机,受到了朱煜的特别关注。

也就是这一年,朱煜开始了双工作台的产品研发,殊不知由于一度经费不足,他的科研一度身陷停滞不前,直至2012年,清华大学与清华大学机械工程系IC制造装备研究室核心团队工作人员朱煜等8人相互注资开设华卓精科。

在设立公司以后,朱煜的科研进展逐渐开始变快,双工作台的困难程度到底有多大,在匀速运动下需做到2nm(等同于头发丝直径的三万分之一)的运动精密度,它的精度等级直观影响了光刻出的硅片的品质。

2016年4月28日,历时五年时长产品研发的光刻机双产品工件台设备演示机顺利经过了国家高新科技重特大 “极大规模集成电路芯片生产制造武器装备及成套设备加工工艺”(实施管理办公室的工程竣工验收。

这意味着中国在双工作台上宣布摆脱了ASML的行业垄断,变成全世界第二个掌控双工作台工艺的国家。

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